PVA Tepla ist ein Marktführer für Mikrowellen-Plasma bei Anwendungen im Bereich der Herstellung von integrierten Schaltkreisen, Solar-Zellen, Flachbildschirmen, MEMS, opto-elektronischen Bauelementen auf der Basis von III-V Halbleitern sowie Sensoren auf Lithiumniobat Substraten. Die Prozesse laufen im Niederdruck-Plasma mit direkter Mikrowellenankopplung und umfassen Anwendungen für das Veraschen von Fotolack, Dünn- sowie Entspannungsätzen von Silizium-Wafern, Reinigen und Aktivieren von zu beschichtenden Oberflächen, Lead-Frames, Bond Pads und FlipChip Bauelementen. Dabei ist eine Behandlung im Mikrowellenplasma besonders schonend für Bauelemente mit hoher Empfindlichkeit gegen statische Elektrizität.

Darüber hinaus bietet PVA Tepla auch Metrologie-Geräte an, die in der Qualitätsprüfung während verschiedener Schritte bei der Herstellung von Si-Wafern sowie Prozessen der Fertigung von integrierten Schaltkreisen eingesetzt werden. Das SIRD System wird für den Nachweis von mechanischen Spannungen (Stress) in Si-Wafern genutzt, während das TWIN System für die Dosis Überwachung beim Implantationsprozess eingesetzt wird. Beide Geräte können Wafer mit einem Durchmesser bis 300mm verarbeiten und sind für Reinräume bis Klasse 1 geeignet.