Kantenisolation / Ätzen von Poly-Silizium und Siliziumnitrid
Die Kantenisolation von polykristallinen Solarzellen mittels Plasmaätzen ist ein zuverlässiger und seit vielen Jahren eingeführter Prozess, der sich vor allem durch hohe Wirtschaftlichkeit auszeichnet. Dabei wird ein Stapel mit mehreren hundert Zellen gleichzeitig in einer Plasmakammer bearbeitet. Plasmaätzen ist ein effizienter und umweltfreundlicher Prozess und wird auch für die Entfernung von Rückseitennitrid oder PSG (Phophorsilikatglas) eingesetzt. Mikrowellenplasma ist hier wegen seiner hohen chemischen Reaktivität vorteilhaft und erlaubt die Bearbeitung bei niedriger Prozesstemperatur. Verbesserte Handhabung für das Stapeln und Entstapeln erleichtern die Arbeit für die Bediener und erhöhen die Ausbeute.
Die Kantenisolation von polykristallinen Solarzellen mittels Plasmaätzen ist ein zuverlässiger und seit vielen Jahren eingeführter Prozess, der sich vor allem durch hohe Wirtschaftlichkeit auszeichnet. Dabei wird ein Stapel mit mehreren hundert Zellen gleichzeitig in einer Plasmakammer bearbeitet. Plasmaätzen ist ein effizienter und umweltfreundlicher Prozess und wird auch für die Entfernung von Rückseitennitrid oder PSG (Phophorsilikatglas) eingesetzt. 
